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シンクロテックの静電気対策
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静電気対策あれこれ

このコーナーでは静電気対策のあれこれををご紹介致します。今回は、静電気の豆知識をご紹介します。

静電気(物質と帯電)

静電気は物体が動いた時に発生します。物が動くことによる物体同士の摩擦、時には空気との摩擦などで、電子の電気的極性が一方に片寄ってしまう状況によって帯電した状態(静電気状態)となります。その意味で人間は動く帯電体です。 人は歩いているだけでいたるところが摩擦していますので帯電しています。
また、物質によって極性も異なり、塩化ビニールやポリエチレンなどはマイナス帯電し、我々人間はプラス帯電します。これは、この物体を構成する物質の帯電極性によるものです。
例えば、ナイロンとテフロンを擦りあわせたとき、ナイロンはプラスに帯電し、テフロンはマイナスに帯電します。また、帯電量がどのくらいかも摩擦させる物質によって異なります。

<物質と帯電極性>・・・摩擦帯電列表

物質と帯電極性

<人体の動作と人体帯電電位>

人体の動作と人体帯電電位

<人体帯電と電撃の強さの関係>

人体帯電と電撃の強さの関係
以上の様に人間は2-3KV 以上の帯電レベルにならないと放電を感じません。 従って、効果的な静電気対策を行っていないIC 半導体関連の現場では無意識の内に 不良の山を作っている場合が有り得るため、十分な配慮が必要となります。

静電気放電と基本管理

帯電に基づいた電位の異なる2 つの物体が、直接接触した場合に生じる電荷の移動、または静電気誘導によって、異なる電位をもつ物体間を電荷が移動した場合が静電気放電状態(ESD:Electro Static Discharge)となります。
ESDは、不良品発生の原因であるとともにシステムにとっては、不測の事態を引き起こす故障の原因となります。帯電した作業者や備品工具等が接地された静電気耐性の低いデバイスに直接接触した場合に生じるデバイス破壊が静電気損傷としては、最も一般的な事例です。
そのESDから電子機器・部品を保護/管理する基本的な方法には、以下の4 つのことを守る必要があります。
<この基本的管理は、ESD損傷を防ぐ基本的な方法です。>
1. 作業者を接地する。
2. 作業床や作業台表面と装置工具等を接地する。
3. 静電気的に危険な材料(静電気発生源)を一掃する。
4. 上記の3 つの管理がなされた区域へ/から搬入/搬出して輸送・保管する場合には感受性アイテムに保護包装をする。

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